| 发明名称 |
DRY ETCHING METHOD AND APPARATUS THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0124497(B1) |
申请公布日期 |
1997.12.10 |
| 申请号 |
KR19930000524 |
申请日期 |
1993.01.16 |
| 申请人 |
TOSHIBA KK. |
发明人 |
HASEGAWA, MAKOTO;SANDA, ATSUO |
| 分类号 |
C23F4/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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