发明名称 METHOD OF FORMING FILM
摘要
申请公布号 JPH09312337(A) 申请公布日期 1997.12.02
申请号 JP19960150088 申请日期 1996.05.21
申请人 SONY CORP 发明人 HARA MASATERU
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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