| 发明名称 |
SURFACE FLATTENED SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09312275(A) |
申请公布日期 |
1997.12.02 |
| 申请号 |
JP19960150087 |
申请日期 |
1996.05.21 |
| 申请人 |
HOYA CORP |
发明人 |
MITSUI HIDEAKI;NAGASAWA HIROYUKI |
| 分类号 |
C04B41/88;C04B41/91;C23F1/16;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
C04B41/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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