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发明名称
HORIZONTAL POSITION DETECTING DEVICE AND ALIGNER PROVIDED WITH IT
摘要
申请公布号
JPH09306828(A)
申请公布日期
1997.11.28
申请号
JP19960145024
申请日期
1996.05.15
申请人
NIKON CORP
发明人
NISHIMURA HIROSHI
分类号
G03F7/207;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/207
代理机构
代理人
主权项
地址
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