发明名称 HORIZONTAL POSITION DETECTING DEVICE AND ALIGNER PROVIDED WITH IT
摘要
申请公布号 JPH09306828(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960145024 申请日期 1996.05.15
申请人 NIKON CORP 发明人 NISHIMURA HIROSHI
分类号 G03F7/207;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/207
代理机构 代理人
主权项
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