发明名称 |
OPTICAL STOP FOR INFRARED INTERFEROMETER AND MEASURING APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09304012(A) |
申请公布日期 |
1997.11.28 |
申请号 |
JP19960120246 |
申请日期 |
1996.05.15 |
申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
ICHIKAWA HAJIME;MIZOROKE SHIGEO |
分类号 |
G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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