用于支持平板曝光装置布线图的设备

摘要

支持平板曝光装置布线图的设备，上述装置包含固定的水平支持结构。此设备包含由矩形框架和与其连成一体且适于承接布线图的玻璃所组成的布线图支持件、支持和提升支持件的适于使支持件在一给定平面内保持水平且适于产生支持件与支持结构之间基本上无摩擦的协同动作的装置、使支持结构暂时固定于支持件框架的可控装置、以及与支持结构连成一体以使支持件在水平平面内沿二个正交的方向相对于支持结构移动的位移装置。

主权项

1.一种用来支持平板曝光装置的布线图的设备，上述装置包含一个固定的水平支持结构，其特征是包含：一个由矩形框架和与上述框架连成一体的玻璃构成的适于承接布线图的布线图支持件，用来支持或提升上述支持件的适于保持上述水平支持件在一给定平面内并适于产生一个在上述支持件与上述支持结构之间基本上无磨擦的协同动作的装置，用来使上述支持结构暂时固定于上述支持件框架的可控装置，以及与上述支持结构连成一体以在水平平面内沿二个正交方向相对于上述支持结构移动上述支持件的位移装置。