发明名称 TEMPERATURE COMPENSATION CIRCUIT FOR A HEAT CONDUCTION VACUUM GAUGE
摘要 Die Erfindung bezieht sich auf eine Schaltung für ein Wärmeleitungs-Vakuummeter mit einer Brückenschaltung (1), die einen ersten Zweig (2, 3) mit einem Messwiderstand (12) und einen zweiten Zweig (4, 5) mit einem temperaturabhängigen Widerstand (15) zur Kompensation temperaturbedingter Messfehler aufweist, und mit einem der Regelung der Brückenspeisespannung (UB) dienenden Operationsverstärker (24), dessen erster Eingang (25) mit dem Zwischenabgriff (7) des Messzweiges (2, 3) der Brückenschaltung und dessen zweiter Eingang (27) mit dem Zwischenabgriff (9) des Kompensationszweiges (4, 5) der Brückenschaltung verbunden ist; um eine relativ exakte Temperaturkompensation zu erzielen, wird vorgeschlagen, dass parallel zum Kompensationszweig (4, 5) mindestens ein weiterer Kompensationszweig (16, 17) mit einem weiteren temperaturabhängigen Widerstand (23) vorgesehen ist und dass der zweite Eingang (27) des Operationsverstärkers (24) wahlweise mit den Zwischenabgriffen (9, 18) der Kompensationszweige (4, 5; 16, 17) verbindbar ist.
申请公布号 WO9741414(A1) 申请公布日期 1997.11.06
申请号 WO1997EP01184 申请日期 1997.03.08
申请人 LEYBOLD VAKUUM GMBH;KUESTER, GERHARD;ROLFF, NORBERT 发明人 KUESTER, GERHARD;ROLFF, NORBERT
分类号 G01L21/12;(IPC1-7):G01L21/12 主分类号 G01L21/12
代理机构 代理人
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