发明名称
摘要
申请公布号 JP2672581(B2) 申请公布日期 1997.11.05
申请号 JP19880183643 申请日期 1988.07.25
申请人 发明人
分类号 H01L29/04;H01L21/20;H01L29/26;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L29/04
代理机构 代理人
主权项
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