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发明名称 PLASMA GENERATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09275094(A) 申请公布日期 1997.10.21
申请号 JP19960082645 申请日期 1996.04.04
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 HAYASHI TOSHIO;ITO MASAHIRO
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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