发明名称 EPITAXIAL AVSETTNING AV KISEL
摘要
申请公布号 SE7702594(A) 申请公布日期 1977.09.18
申请号 SE19770002594 申请日期 1977.03.08
申请人 * RCA CORPORATION 发明人 C E * WEITZEL;R T * SMITH
分类号 C30B25/18;C30B15/00;C30B15/36;C30B29/06;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/86;H01L27/12;H01L29/04;(IPC1-7):B01J17/00 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
主权项
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