发明名称 |
EPITAXIAL AVSETTNING AV KISEL |
摘要 |
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申请公布号 |
SE7702594(A) |
申请公布日期 |
1977.09.18 |
申请号 |
SE19770002594 |
申请日期 |
1977.03.08 |
申请人 |
* RCA CORPORATION |
发明人 |
C E * WEITZEL;R T * SMITH |
分类号 |
C30B25/18;C30B15/00;C30B15/36;C30B29/06;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/86;H01L27/12;H01L29/04;(IPC1-7):B01J17/00 |
主分类号 |
C30B25/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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