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发明名称
DENSHIBIIMUROKOHOHO
摘要
申请公布号
JP2660037(B2)
申请公布日期
1997.10.08
申请号
JP19890014734
申请日期
1989.01.24
申请人
FUJITSU KK
发明人
SAITO MASAYUKI
分类号
H01L21/30;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
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