臭氧发生方法和臭氧发生装置

摘要

本发明提供一种构造简单而且易于小型化的臭氧发生装置，它备有氧原子发生部6、臭氧发生部(喉部3和扩散部4)和减压供给部；氧原子发生部6使被供给来的氧气分解而生成氧原子，供给含有氧原子的第1气体；臭氧发生部使上述第1气体与从反应气体入口1供入的含有氧的第2气体混合并反应，生成臭氧；减压供给部将氧原子发生部6的压力减至低于大气压的预定低压，并将第1气体保持该低压状态地送到臭氧发生部。

主权项

1.一种臭氧发生方法，其特征在于：它由氧原子发生工序和臭氧发生工序组成；氧原子发生工序是在低于大气压的预定低压力下使被供给来的氧气分解，生成含有氧原子的第1气体；臭氧发生工序是使在该氧原子发生工序中生成的含有氧原子的上述第1气体与含有氧的第2气体混合，在非放电条件下使它们反应而生成臭氧。