发明名称 SHUSEKIKAIROSHIKENSOCHI
摘要
申请公布号 JP2655793(B2) 申请公布日期 1997.09.24
申请号 JP19920342351 申请日期 1992.12.22
申请人 KAWASAKI SEITETSU KK 发明人 YOSHINO KENJI
分类号 G01R31/26;G01R31/30;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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