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发明名称 MODULAR ENCODER AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09243410(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960051652 申请日期 1996.03.08
申请人 NIKON CORP;KAWASAKI HEAVY IND LTD 发明人 IMAI MOTOMASA;ONO YASUSHI;HASHIMOTO YASUHIKO;YAMAUCHI SHIGEKI
分类号 G01D5/36;G01D5/347;G01D11/24;G01P3/486;(IPC1-7):G01D5/36 主分类号 G01D5/36
代理机构 代理人
主权项
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