发明名称 SILICON WAFER CLEANING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH09246227(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960054565 申请日期 1996.03.12
申请人 JAPAN ORGANO CO LTD 发明人 TANABE MADOKA
分类号 H01L21/304;B08B3/08;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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