发明名称 METHOD FOR CONTROLLING THRESHOLD VOLTAGE OF FIELD-EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH09246284(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960048773 申请日期 1996.03.06
申请人 NEC CORP 发明人 TOKUSHIMA MASATOSHI
分类号 C23C16/50;H01L21/265;H01L21/338;H01L29/78;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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