| 发明名称 |
PHASE SHIFTING DIFFRACTION INTERFEROMETER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0795116(A1) |
申请公布日期 |
1997.09.17 |
| 申请号 |
EP19950940819 |
申请日期 |
1995.11.21 |
| 申请人 |
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA |
发明人 |
SOMMARGREN, GARY, E. |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/24;G01B11/255;G01J9/02;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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