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发明名称 HANDOTAISOCHINOKENSASOCHI
摘要
申请公布号 JP2648947(B2) 申请公布日期 1997.09.03
申请号 JP19880287470 申请日期 1988.11.14
申请人 TOKYO EREKUTORON KK 发明人 TOMOYASU MASAYUKI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/302;G01R31/319;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/302 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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