| 发明名称 |
ANTIREFLECTION COMPOSITION AND PATTERN FORMING METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09222736(A) |
申请公布日期 |
1997.08.26 |
| 申请号 |
JP19960027849 |
申请日期 |
1996.02.15 |
| 申请人 |
MITSUBISHI CHEM CORP |
发明人 |
NISHI MINEO;TERAMOTO MASASHI |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/11;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/11 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
