发明名称 Laserbearbeitungsvorrichtung, Laserbearbeitungsverfahren und Hemmsteg-Bearbeitungsverfahren
摘要
申请公布号 DE19580444(T1) 申请公布日期 1997.08.21
申请号 DE19951080444T 申请日期 1995.04.06
申请人 HITACHI CONSTRUCTION MACHINERY CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SHIMOMURA, YOSHIAKI, IBARAKI, JP;MIYANAGI, NAOKI, IBARAKI, JP;TADA, NOBUHIKO, USHIKU, IBARAKI, JP;NAGANO, YOSHINARI, IBARAKI, JP;OKUMURA, SHINYA, TSUCHIURA, IBARAKI, JP;SAKURAI, SHIGEYUKI, TSUKUBA, IBARAKI, JP
分类号 B23K26/03;(IPC1-7):B23K26/00;H01S3/10;H01L21/58 主分类号 B23K26/03
代理机构 代理人
主权项
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