发明名称 |
SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09218205(A) |
申请公布日期 |
1997.08.19 |
申请号 |
JP19960026491 |
申请日期 |
1996.02.14 |
申请人 |
SHIMADZU CORP |
发明人 |
OGAWA KIYOSHI;KAIMOTO AKIRA |
分类号 |
G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/04;G01Q60/04;G01Q60/10;G01Q60/24;G01Q90/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B7/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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