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发明名称 SENSOR STRUCTURE
摘要
申请公布号 RU2086971(C1) 申请公布日期 1997.08.10
申请号 RU19930033068 申请日期 1993.06.24
申请人 INSTITUT FIZIKI POLUPROVODNIKOV SO RAN 发明人 EFIMOV VALERIJ M;KURYSHEV GEORGIJ L;VORONTSOV VITALIJ V
分类号 G01N27/12;(IPC1-7):G01N27/12 主分类号 G01N27/12
代理机构 代理人
主权项
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