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发明名称 FORMATION OF CONTACT HOLE
摘要
申请公布号 JPH09205143(A) 申请公布日期 1997.08.05
申请号 JP19960011265 申请日期 1996.01.25
申请人 SONY CORP 发明人 NAGAYAMA TETSUJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/318;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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