发明名称 METHOD FOR MEASURING SHAPE OF HIGHLY ACCURATE PLANE
摘要
申请公布号 JPH09203619(A) 申请公布日期 1997.08.05
申请号 JP19960031443 申请日期 1996.01.24
申请人 FUJI PHOTO OPTICAL CO LTD 发明人 UEKI NOBUAKI
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
地址