发明名称 SPECIMEN COOLING AND OBSERVING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09196831(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960007095 申请日期 1996.01.19
申请人 HITACHI LTD;HITACHI SCI SYST:KK 发明人 OKURA AKIMITSU
分类号 G01N1/28;G01N37/00;G01Q30/10;G01Q90/00;H01J37/20;(IPC1-7):G01N1/28 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
主权项
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