发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09199503(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960009535 申请日期 1996.01.23
申请人 SONY CORP 发明人 TAKIZAWA MASAAKI
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
地址