发明名称 REFLECTION TYPE OPTICAL DISPLACEMENT DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH09196620(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960021691 申请日期 1996.01.12
申请人 YASKAWA ELECTRIC CORP 发明人 NAKAJIMA KOJI;SUZUKI KOUJI;ARINAGA YUJI
分类号 G01D5/38;G01B11/00;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01D5/38
代理机构 代理人
主权项
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