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发明名称 Method of manufacturing a semiconductor memory device with a stacked capacitor
摘要
申请公布号 GB9711566(D0) 申请公布日期 1997.07.30
申请号 GB19970011566 申请日期 1997.06.04
申请人 NEC CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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