发明名称 SILACYCLOPENTADIENE DERIVATIVE
摘要
申请公布号 JPH09194487(A) 申请公布日期 1997.07.29
申请号 JP19960021845 申请日期 1996.01.12
申请人 CHISSO CORP 发明人 UCHIDA MANABU;IZUMISAWA YUSHO;FURUKAWA KENJI;TAMAO KOHEI;YAMAGUCHI SHIGEHIRO
分类号 G03G5/06;C07F7/08;C07F7/10;C07F7/12;C09K11/06;H01L51/50;H05B33/22;(IPC1-7):C07F7/08 主分类号 G03G5/06
代理机构 代理人
主权项
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