| 摘要 |
<p>L'invention porte sur des débitmètres (20) monolithiques à palette micro-usinés dans le silicium et comportant une palette d'où part une articulation dirigée vers l'intérieur et munie de barres de torsion (24). Ladite articulation sert de support à la palette (28) qui tourne autour des barres de torsion (24). Un détecteur de déflexion sous forme de détecteur de torsion (42) associé à au moins l'une des barres de torsion (24) détecte la déflexion de la palette (28) en réponse au fluide qui la frappe. Le cadre (22), les barres de torsion (24) et le détecteur de torsion (42) sont tous usinés d'une pièce dans la même couche semiconductrice de silicium monocristalin d'un substrat.</p> |
