| 发明名称 |
DAIYAMONDONOKISOGOSEIHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2633640(B2) |
申请公布日期 |
1997.07.23 |
| 申请号 |
JP19880206167 |
申请日期 |
1988.08.18 |
| 申请人 |
FUJITSU KK |
发明人 |
SASAKI KENICHI;KURIHARA KAZUAKI;KAWARADA MOTONOBU |
| 分类号 |
H01L21/205;C30B25/12;C30B29/04;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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