发明名称 ELECTRIC PROBING TEST MACHINE
摘要
申请公布号 KR970011745(B1) 申请公布日期 1997.07.15
申请号 KR19880015747 申请日期 1988.11.29
申请人 TOKYO ELECTRON KK. 发明人 OBIKANE, TADASHI;KOIKE, HISASHI;TANAKA, KIYOSHI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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