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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH09186165(A)
申请公布日期
1997.07.15
申请号
JP19970018223
申请日期
1997.01.31
申请人
HITACHI LTD
发明人
ODAJIMA HITOSHI;HASEGAWA HIROSHI;KAWARADA MASAYUKI;FUKAZAWA HIDEYUKI
分类号
H01L21/60;H05K3/34;(IPC1-7):H01L21/321
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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