| 发明名称 |
PLASMA STRENGTHENING CHEMICAL PROCESSING REACTOR AND ITS METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09167762(A) |
申请公布日期 |
1997.06.24 |
| 申请号 |
JP19960180459 |
申请日期 |
1996.07.10 |
| 申请人 |
WATKINS JOHNSON CO |
发明人 |
RON BUAN OZU;UIRIAMU JIEI DAABIN;RICHIYAADO EICHI MATSUTEIISEN;DENISU SHII FUENSUKE;ERITSUKU DEII ROSU |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/507;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/306 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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