发明名称 GRAPHITE CRUCIBLE FOR LIFTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL AND HANDLING METHOD FOR THE SAME
摘要
申请公布号 JPH09165290(A) 申请公布日期 1997.06.24
申请号 JP19950347657 申请日期 1995.12.15
申请人 KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD 发明人 UMEKI TOSHIRO
分类号 C30B15/10;C30B29/06;(IPC1-7):C30B15/10 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项
地址