| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURE FOR DEGENERATING IMPURITY DISTRIBUTION OF CHANNEL BY IMPLANTING PHOSPHORUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09162386(A) |
申请公布日期 |
1997.06.20 |
| 申请号 |
JP19950346552 |
申请日期 |
1995.12.04 |
| 申请人 |
TAIWAN MOSHII DENSHI KOFUN YUUGENKOUSHI |
发明人 |
SOU TOSHIHIRO |
| 分类号 |
H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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