发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09162121(A) |
申请公布日期 |
1997.06.20 |
申请号 |
JP19950317883 |
申请日期 |
1995.12.06 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KITAHARA KUNINORI;HARA AKITO |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/02;H01L21/268;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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