发明名称
摘要
申请公布号 JP2619734(B2) 申请公布日期 1997.06.11
申请号 JP19900223483 申请日期 1990.08.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/70;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/324;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/70
代理机构 代理人
主权项
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