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发明名称 LASER ANNEALING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09139355(A) 申请公布日期 1997.05.27
申请号 JP19950298472 申请日期 1995.11.16
申请人 JAPAN STEEL WORKS LTD:THE 发明人 MARUKI YUJI
分类号 H01L21/268;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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