发明名称 压电元件暨其制造方法
摘要 一压电元件包含埋于压电陶瓷体(22)的内部电极(31),以在压电体的纵方向延伸,第一至第三表面电极(22至25,27至29)形成在该压电陶瓷体(22)之上及下表面上,沿着纵方向的第一至第三部份,连接电极(26, 30)形成以连接第一至第三表面电极(23至25,27至29)彼此连接,该第一至第三部位系被极化使得第二部位系被反向极化于该第一及第二部位,且在内部电极之上及下方的区域系被以相对于第一至第三部位之相反方向极化。
申请公布号 TW306077 申请公布日期 1997.05.21
申请号 TW084111456 申请日期 1995.10.30
申请人 村田制作所股份有限公司 发明人 井上二郎;多保田纯;宇波俊彦
分类号 H01L41/187 主分类号 H01L41/187
代理机构 代理人 林镒珠 台北巿长安东路二段一一二号九楼
主权项 1.一种电压元件,其包含:一压电体,在沿着压电体之纵方向上含第一至第三部位,且第一至第三部位加以极化后可使得该第一及第二部位及该二部位沿其厚度方向形成反向极化;一内部电极,位在该电压体的内部形成,以在该纵方向上沿伸,但不延伸到压电体的纵方向端;及第一及第二信号抽取电极各自地位在该压电体的上及下表面,各个第一及第二信号抽取电极皆含第一、第二及第三表面电极,每一电极各自地在第一、第二及第三部位上包含相当厚的膜,且彼此沿着纵方向分开,及一包含相当薄之膜的连接电极,其定位之后可使该第一、第二及第三表面电极彼此电连接,且至少部份覆盖第一、第二及第三表面电极,其中各个第一至第三个表面电极系以印刷法形成,且该连接电极系以沈积法形成。2.如申请申请专利范围第1项之压电元件,其中定位在该内部电极之上及下方的区域在每一该第一、第二及第三部份中极化。3.如申请专利范围第1项之压电元件,其中该连接电极的设计可使不延伸至压电体的的纵方向端。4.如申请专利范围第1或2项之压电元件,其中该压电体由压电陶瓷制成。5.一种加速感测器,其包含:一压电体,在沿着压电体之纵方向上含第一至第三部位,且第一至第三部位加以极化后可使得该第一及第二部位及该第二部位沿其厚度方向形成反向极化;一内部电极,位在该压电体的内部形成,以在该纵方向上沿伸,但不延伸到压电体的纵方向末端;及第一及第二信号抽取电极各自地位在该电压体的上及下表面,各个第一及第二信号抽取电极皆含第一、第二及第三表面电极,每一电极各自地在第一、第二及第三部位上包含相当厚的膜,且彼此沿着纵方向分开,及一包含相当薄之膜的连接电极,其定位之后可使该第一、第二及第三电极彼此电连接,且至少部份覆盖第一、第二及第三表面电极。6.一种制造压电元件的方法,包含下列步骤:制备一板型压电体,其内包含一内部电极,可沿着压电体的纵方向延伸:在压电体的第一、第二及第二部位,沿着该部位加上导体膏于该压电体的上及下表面,且烘焙该导体膏,以各自地形成第一、第二及第三表面电极;经由该内部电极及位在该压电体之上及下表面的第一、第二及第三表面电极而使压电体极化,所以压电体的第一及第三部位及第二部位沿着该压电体的厚度方向反向极化;及形成第一及第二连接电极,以使位在该压电体之上及下表面的第一、第二及第三表面电极彼此互连,使得第一及第二连接电极至少部份覆该第一、第二及第三表面电极。7.如申请专利范围第6项之制造压电元件的方法,其中位在该内部电极之上及下方之区域在该第一、第二及第三部位中反相极化。8.如申请专利范围第6项之制造压电元件的方法,其中制备该包含内部电极之压电体的步骤由下列方法执行:在一对压电陶瓷板之间形成该内部电极,且使该对压电陶瓷板彼此互相黏贴在一起。9.一种制造压电元件的方法,包含下列步骤:制备一对压电陶瓷板;在每一压电板之单一主表面上形成内部电极,使得每一内部电极在相对应的压电板之纵方向延伸,但不延伸至压电板之纵方向的末端;经由加入及烘焙导体膏,在沿着纵方向及含内部电极之表面相对的表面上之压电陶瓷板的第一、第二及第三部位中,各自地形成含相当厚之厚膜的第一、第二及第三表面电极;极化该电压陶瓷板,该压电陶瓷板提供内部电极及该第一、第二及第三表面电极,使得该第一及第三部位沿着厚度方向,经由该内部电极及该第一、第二及第三表面电极,使得该第一及第二部位极化,其极化方向与第二部位相反;形成连接电极,此连接电极在该压电陶瓷板的表面上包含相当薄的膜,使得第一、第二及第三表面电极彼此相连接,且至少覆盖第一、第二及第三表面电极之一部位;及将该对压电陶瓷板中提供该内部电极的该表面相黏附在一起以形成一压电体,该压电陶瓷板提供该连接电极。10.如申请专利范围第9项之制造压电元件的方法,其中在每一该内部电极之上方及下方的区域在每一该第一、第二及第三部位中反相极化。11.一种压电元件,其包含:一压电体,在沿着压电体之纵方向上含第一至第三部位,且第一至第三部位加以极化后可使得该第一及第二部位及该第二部位沿其厚度方向形成反向极化;第一、第二及第三内部电极,其位在该压电体之内部,以在该第一、第二及第三部位中的纵方向上延伸,且彼此分开;第一及第二信号抽取电极,各自地位在该压电体的上及下表面。12.如申请专利范围第11项之压电元件,其中在每一该内部电极之上方及下方的区域在每一该第一、第二及第三部份中反相极化。13.如申请专利范围第11项之压电元件,其中该压电体由压电陶瓷制成。14.一种加速感测器,其包含:一压电体,在沿着压电体之纵方向上含第一至第三部位,且第一至第三部位加以极化后可使得该第一及第二部位及该第二部位沿其厚度方向形成反向极化;第一、第二及第三内部电极,其位在该压电体之内部,以在该第一、第二及第三部位中的纵方向上延伸,且彼此分开;第一及第二信号抽取电极,各自地位在该压电体的上及下表面。15.一种制造压电元件的方法,其包含下列步骤:备制实质上为矩形板形状之第一及第二绿板,该绿板包含压电陶瓷,沿着该第一绿板的纵方向将导体膏加到第一、第二及第三部位中该第一绿板的单一表面,以各自地形成第一、第二及第三内部电极图样;在提供该第一、第二及第三内部电极图样的该第一绿板之表面上叠上一第二绿板,以得到一层状板;燃烧该层状板,因此整个燃烧该陶瓷体及第一、第二及第三内部电极以得到一烧结体;将到导体膏加入该烧结体的上及下表面而形成第一及第二信号抽取电极,且烘焙该第一及第二信号抽取电极;及经由该第一及第二信号抽取电极及该第一、及第三内部电极而极化该烧结体,使得沿着该纵方向的该烧结体该第一及第二部位及该第二部位沿着该压电体的厚度方向反相极化。16.如申请专利范围第15项之制造压电元件的方法,其中在每一该内部电极之上方及下方的区域在每一该第一、第二及第三部位中反相极化。17.一种制造压电元件的方法,其包含下列步骤:备制燃烧的矩形第一及第二压电陶瓷板;将导体膏,在该第一及第二压电陶瓷板的单一表面上沿着纵方向,加到第一、第二及第三部位,因此各自地形成第一、第二及第三内部电极图样;将形成的内部电极加到该第一及第二压电陶瓷板的表面上,该表面反向于提供该内部电极图样之表面,以各自地形成第一及第二信号抽取电极;经由烘焙该内部电极图样及该信号抽取电极而加热该第一及第二压电陶瓷板,以各地形成第一、第二及第三内部电极信号抽取电极;经由该信号抽取电极及该第一、第二及第三内部电极使该第一及第二压电陶瓷板极化,使得该第一及第二部位极化,其极化方向与在厚度方向之该压电陶瓷板的第二部份的极化方向相反;及使该第一及第二压电陶瓷板中提供该内部电极的表面黏附在一起,该压电陶瓷板提供该第一、第二及第三内部电极,因得到一压电元件。18.如申请专利范围第17项之制造压电元件的方法,其中在每一该内部电极之上方及下方的区域在每一该第一、第二及第三部位中反相极化。图示简单说明:图1为传统压电元件结构的透视示意图;图2A至2C为制造传统压电元件之方法的透视图,其中示一压电陶瓷体,其位在上下表面提供第一至第三表面电极之状态,且为极化态,其提供相对应的连接电极;图3A至3B为制造传统压电元件之方法的透视图,其中含一母结构体,用于说明相对应的的图3A中经切割母结体而得到的个别压电元件之结构;图4为本发明为第一较佳实施例之压电元件的透视图;图5A至5C为依据本发明之较佳实施例的压电元件之较佳制造方法,其中-透视图示-压电基板,中含内部电极,及第一至第三表面电极,其中剖面图示在极化态下的第一及第二压电基板,其中一透视图示提供连接电极的第一及第二压电基板;图6为本发明第二较佳实施例的压电元件之透视图;图7A至7C说明本发明之第二较佳实施例中压电元件的制造方法,其中的侧视图示位在提供第一至第三内部电极图样态下的第一及第一压电体,经由第一及第二压电体间彼此互相沈积而得到层体,在此层体的上及下表面相对应地提供第一及第二信号抽取电极;图8A至8B,示本发明第二较佳实施例中压电元件的制造方法,其中的侧视图示一固体于压电陶体上的母架体,及一用于各别压电元件的结构体,其从一母结构体上切开;图9A至9C示本发明第二较佳实施例中压电元件的制造方法,其中的剖面透视图说明前面在单面上提供第一至第三内部电极之燃烧过的第一及第二压电体,其中一侧视图示提供信号抽取电极且已极化的第一及第二压电体,及一侧视图示已互相结合的第一及第二压电体。
地址 日本
您可能感兴趣的专利