| 发明名称 |
ELECTRODE STRUCTURE AND MANUFACTURE OF ELECTRODE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09129901(A) |
申请公布日期 |
1997.05.16 |
| 申请号 |
JP19960068018 |
申请日期 |
1996.03.25 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
HARA SHIRO;TERACHI TOKUYUKI;OGUSHI HIDEYO;KAJIMURA KOJI |
| 分类号 |
H01L29/872;H01L21/04;H01L21/28;H01L29/24;H01L29/47;(IPC1-7):H01L29/872 |
主分类号 |
H01L29/872 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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