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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0992790(A) 申请公布日期 1997.04.04
申请号 JP19950248972 申请日期 1995.09.27
申请人 NIKON CORP 发明人 MATSUDA HIDEAKI
分类号 H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/08;H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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