发明名称
摘要
申请公布号 JP2597086(B2) 申请公布日期 1997.04.02
申请号 JP19860095597 申请日期 1986.04.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/48;H01L21/263;H01L21/304;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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