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发明名称
摘要
申请公布号
JP2597086(B2)
申请公布日期
1997.04.02
申请号
JP19860095597
申请日期
1986.04.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;C23C16/48;H01L21/263;H01L21/304;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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