| 发明名称 |
SURFACE TREATING METHOD AND FORMING METHOD OF DIELECTRIC FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0982674(A) |
申请公布日期 |
1997.03.28 |
| 申请号 |
JP19950241293 |
申请日期 |
1995.09.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
IZAWA MASARU;FUJISAKI YOSHIHISA;USHIYAMA MASAHIRO;MATSUI YUICHI |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/304;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/822;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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