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发明名称 ECR PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0963795(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950220532 申请日期 1995.08.29
申请人 KAO CORP 发明人 SASAKI KATSUMI;KITAORI NORIYUKI;YOSHIDA OSAMU;MIZUNOYA HIROHIDE;MATSUO YUZO;SHIGA AKIRA;ISHIKAWA JUNKO
分类号 H05H1/46;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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