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发明名称 DEVICE FOR MEASURING CONCENTRATION OF IMPURITY IN GAS
摘要
申请公布号 JPH0922680(A) 申请公布日期 1997.01.21
申请号 JP19950204973 申请日期 1995.07.07
申请人 NIPPON A P I:KK 发明人 MIZOGAMI KAZUAKI
分类号 G01N27/62;G01N27/68;H01J49/18;(IPC1-7):H01J49/18 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
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