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发明名称 FABRICATING METHOD OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR960016834(B1) 申请公布日期 1996.12.21
申请号 KR19920002380 申请日期 1992.02.18
申请人 TOSHIBA KK. 发明人 KAMAKURA, DAKANOBU;YAMASITA, YOUJI
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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