申请人 |
ALD VACUUM TECHNOLOGIES GMBH, 63526 ERLENSEE, DE;DEGUSSA AG, 60311 FRANKFURT, DE |
发明人 |
HUGO, FRANZ, 63743 ASCHAFFENBURG, DE;WANETZKY, ERWIN, 63538 GROSKROTZENBURG, DE;MELBER, ALBRECHT, DR., 64287 DARMSTADT, DE;RASCHKE, MANFRED, DR., 63526 ERLENSEE, DE;ZIMMERMANN, KLAUS, DR., 63538 GROSKROTZENBURG, DE;GERNER, ROLAND, DR., 63517 RODENBACH, DE |