发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08335668(A) 申请公布日期 1996.12.17
申请号 JP19950139044 申请日期 1995.06.06
申请人 TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC;NIPPONDENSO CO LTD 发明人 ISHIKO MASAYASU;SUZUKI TAKASHI;IIDA MAKIO;SAKAKIBARA TOSHIO
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/324;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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