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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE AND ION IMPLANTATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH08315762(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950116750 申请日期 1995.05.16
申请人 SONY CORP 发明人 SAKAMOTO HISAMI
分类号 C23C14/48;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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